opérations de maintenances génériques des machines et de leurs périphériques de la plate-forme technologique silicium du CEA/LETI sur le site du CEA Grenoble dans le cadre d’activités de micro et nanotechnologies. Date de début de prestation souhaité: janvier 2014
Le CEA/LETI/DTSI (Département technologies silicium) dispose d’un parc d’équipements de marques Amat et Semitool, dont il souhaite confier la maintenance avec obligation de résultats à une société extérieure.
Ces équipements concernent les différentes opérations mises en oeuvre dans la fabrication des composants microélectronique: lithographie, gravure, CMP et épitaxie; ils peuvent traiter des substrats de 200 et 300 mm.
La durée du marché envisagé est de 3 ans.
Il peut être prolongé 2 fois au moyen d’options de prolongation d’un an chacune.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-07-01.
L'appel d'offres a été publié le 2013-05-31.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-05-31
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Avis de marché
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| 2013-08-29
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Informations complémentaires
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