Fourniture de deux équipements 200mm d’étalement/développement de résines photosensibles
Le CEA-LETI souhaite remplacer 2 de ces équipements 200mm d’étalement/développement de résines photosensibles, l’un pour ses développements de composants CMOS et mémoires, l’autre pour ses développements de composants MEMS. Ces équipements devront être entièrement automatiques et seront interfacés avec les outils de lithographie du CEA-LETI. Ils seront installés dans les salles blanches du CEA-LETI et fonctionneront 24 heures sur24 - 7 jours sur 7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-11-29.
L'appel d'offres a été publié le 2013-10-17.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-10-17
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Avis de marché
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| 2013-12-10
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Informations complémentaires
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