Fourniture d’un système de pompage et d’un scrubber
Le CEA-LETI souhaite procéder, pour un équipement d’épitaxie 300 mm, au remplacement de son système de pompage ainsi que du dispositif d’abattement des gaz de procédé.
Le but de cette opération est d’obtenir une solution globale avec des performances et une robustesse de fonctionnement dans les meilleurs standards de l’industrie (de la microélectronique).
Ce projet comprend 2 lots :
— lot n° 1 relatif au système de pompage,
— lot n° 2 relatif au scrubber.
Le CEA se réserve la possibilité de confier ces 2 lots à 2 entreprises distinctes.
Ce projet présente une contrainte supplémentaire, la solution globale doit occuper une emprise au sol inférieure ou égale à la solution existante.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-02-05.
L'appel d'offres a été publié le 2013-12-18.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-12-18
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Avis de marché
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