Fourniture d’un spectromètre de masse à source d’excitation plasma (ICP-MS)
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de mesure de traces d’impuretés sur ou dans des substrats, dans des solutions chimiques aqueuses diluées ou concentrées (eau désionisée, acide nitrique, acide chlorhydrique, autres produits chimiques...).
Cet équipement neuf sera installé et exploité en salle blanche pour les applications en microélectronique avancée. Il utilisera la technique de la spectrométrie de masse à source d’excitation plasma (ICP-MS). Il sera utilisé 7 jours/7 – 24 heures/24 – 365 jours/an.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-09-27.
L'appel d'offres a été publié le 2013-07-26.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
Date |
Document |
2013-07-26
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Avis de marché
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