Fourniture d’un équipement de traitements chimiques sur matériaux III-V et de nettoyage back-end 300 mm. Date de livraison souhaitée : 20.12.2013 au plus tard
Pour ses activités de recherche sur l’intégration 3D et la Photonique sur Silicium menées dans le cadre de l’Institut de recherche Nanoelec de Grenoble (IRT Nanoelec), le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’une machine singlewafer 300 mm entièrement automatique, permettant d’effectuer des gravures chimiques de matériaux III-V, des préparations de surface sur matériaux III-V, des amincissements de plaques, du retrait de résine photosensible par voie chimique, et de l’élimination de polymères après gravures plasma.
Cet équipement devra en conséquence embarquer un nombre conséquents de chimies qui seront utilisées soit en mode usage unique (« single-use »), soit en mode recyclé (« reclaimed ») selon le procédé envisagé. Toutes les préparations et dilutions des chimies devront être effectuées en mode entièrement automatique grâce à des cabinets dédiés.
Cette machine devra être entièrement compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique.
L’équipement devra disposer de plusieurs chambres de traitement dédiées aux différentes applications.
Il sera installé dans la salle blanche 300 mm du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-04-25.
L'appel d'offres a été publié le 2013-03-15.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-03-15
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Avis de marché
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| 2013-09-03
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Avis d'attribution de marché
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