Fourniture d’un équipement de dépôt PVD de matériaux magnétiques. Date de livraison souhaitée : 4ème trimestre 2013
Le CEA-Léti souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement sur les films magnétiques à forte perméabilité et à fréquence de résonance élevée (> 1GHz). La mise au point de ces couches nécessite un équipement multi-cibles. Ces films seront réalisés par des techniques de dépôt de type PVD.
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium ou de verre de 200 mm de diamètre présentant des épaisseurs de 500 fim à quelques millimètres. Ce bâti doit être entièrement automatisé et compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique.
Cet équipement sera installé sur la plateforme silicium du CEA-Léti où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-05-31.
L'appel d'offres a été publié le 2013-04-16.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-04-16
|
Avis de marché
|
| 2013-11-15
|
Avis d'attribution de marché
|