Fourniture d’un équipement de défectivité
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement d’inspection pour ses activités de recherche et de développement en photonique. Installé dans les salles blanches du CEA-LETI, l’équipement devra être adapté aux substrats silicium et aux matériaux III-V. Il devra permettre l’inspection et la revue de défauts, en automatique, sur la surface de wafers 200 et 300 mm ainsi que sur la surface de puces placées dans des holders. Les wafers et les puces pourront être patternés ou non patternés.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-02-10.
L'appel d'offres a été publié le 2013-12-18.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-12-18
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Avis de marché
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| 2014-05-19
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Avis d'attribution de marché
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