Fourniture d’un équipement de défectivité
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement d’inspection pour ses activités de recherche et de développement sur le collage de substrats avancés.
Installé dans les salles blanches du CEA-Leti, l ’équipement devra être adapté aux substrats silicium, transparents et aux matériaux III-V.
H devra permettre de mesurer en automatique la surface de wafers de 100 à 200 millimètres de diamètre
pour des épaisseurs variant entre 300 et 750µm.
Pour chaque type de matériaux, le LETI devra pouvoir créer des courbes de calibration basées sur l’intensité diffusée par des billes de latex de tailles certifiées.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-11-29.
L'appel d'offres a été publié le 2013-10-17.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-10-17
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Avis de marché
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| 2014-10-10
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Informations complémentaires
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