Fourniture d’un équipement d’insolation électronique avec simulateur d’optique
Le CEA-Leti souhaite acheter un équipement d’insolation électronique avec simulateur d’optique pour ses activités de recherche et développement sur le dégazage et la contamination induite par les résines utilisées en lithographie EBEAM.
Le positionnement et le déplacement du wafer par rapport au simulateur d’optique devra présenter une grande précision pour contrôler finement les paramètres de contamination.
L’équipement sera adapté aux substrats silicium de 200 millimètres de diamètre et sera installé dans les salles blanches du CEA-Leti.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-10-10.
L'appel d'offres a été publié le 2013-08-29.
Qui ?
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-08-29
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Avis de marché
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| 2014-02-13
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Informations complémentaires
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