Fourniture d’un équipement d’analyse de bains d’électrolyse
Le CEA-Leti souhaite s’équiper d’un équipement d’analyse de bains d’électrolyse pour des dépôts électrolytiques de métaux dans le cadre des activité semi-conducteurs
Cet équipement sera connecté à un équipement de dépôt Applied Materials Raider ECD WLP déjà installé.
Il devra permettre l’analyse des divers composants (organiques et minéraux) des bains suivants :
Bains cuivre de remplissage de vias traversants (TSV) pour les applications 3D
Bains cuivre de remplissage de cavités damascène et de réalisation de plots de soudure
Bain de dépôt de matériau de soudure Etain/Argent
L’équipement devra permettre l ’échantillonnage et l ’analyse automatique d’un bain cuivre de l ’équipement auquel il sera connecté ainsi que 1 ’échantillonnage et l’analyse manuelles de divers bain issu des équipements d’électrolyse installés au CEALETI L’équipement sera installé en environnement salle blanche et fonctionnera en service continu (7j/7 et 24h/24).
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-11-25.
L'appel d'offres a été publié le 2013-10-15.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-10-15
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Avis de marché
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| 2013-11-20
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Informations complémentaires
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| 2013-12-20
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Avis d'attribution de marché
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