Equipement de métrologie « WD-XRF » (Wavelength Dispersive - X-Ray Fluorescence). Délai de livraison souhaité : 6 mois
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement de métrologie d’épaisseur et de composition des films minces déposés sur des
plaquettes de Silicium de diamètres 200 et 300 millimètres. Cet équipement neuf sera installé et exploité en salle blanche pour les applications en microélectronique avancée. Il utilisera la technique de fluorescence des rayons X à dispersion de longueur d’onde (WD-XRF). Il sera équipé d’un dispositif de chargement/ déchargement automatique de plaquettes 200 et 300mm.
Il sera utilisé 7 jours/7 – 24 heures/24 – 365 jours/an.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-03-04.
L'appel d'offres a été publié le 2013-01-21.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-01-21
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Avis de marché
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