Équipement de métrologie d’épaisseur Date de livraison souhaitée : 6 mois
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement de mesure d’épaisseur pour la métrologie des films minces déposés sur des plaques de silicium de 200 et 300 millimètres de diamètre, 24h/24, 7j/7, 365 jours/an. Cet équipement, neuf ou d’occasion, sera installé et exploité en salle blanche de classe 100 pour les applications en microélectronique avancée.
L’équipement doit permettre de coupler les techniques d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopique. Il doit également présenter les caractéristiques suivantes :
— dispositif de chargement/ déchargement automatique de plaques 200 et 300 millimètres sous mini environnement contrôlé,
— possibilité de caractérisation dans des motifs de taille 50 x 50 μm².
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-03-13.
L'appel d'offres a été publié le 2013-01-31.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-01-31
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Avis de marché
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| 2013-08-09
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Avis d'attribution de marché
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