Équipement comportant un ensemble de chambres de dépôt PVD et système de positionnement de masque pour substrat Si 200 mm
Le CEA souhaite acquérir un équipement constitué d’un ensemble de chambres de dépôt PVD pour réalisations de cinq couches actives différentes d’un empilement de microbatteries sur substrat Si 200 mm. Cet ensemble de chambres devra permettre l’obtention de couches servant à la collection du courant (métal) ainsi que les matériaux d’électrodes et électrolyte des batteries. L’ensemble des chambres devront être connectées à une boîte à gants sous argon. Un dispositif installé en boite à gants devra permettre la réalisation de motifs pour chacune des couches (technologie type pochoir nécessitant un alignement).
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-08-26.
L'appel d'offres a été publié le 2013-07-09.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-07-09
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Avis de marché
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| 2013-12-17
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Informations complémentaires
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