Scrubber polyvalent
Le CEA/Grenoble souhaite s’équiper d’un scrubber polyvalent de type mono plaque à chargement manuel.
Cet équipement doit être compatible avec une très large gamme de substrats de 50 à 300 millimètres de diamètre.
De plus, il devra être particulièrement souple au niveau des épaisseurs des substrats traitables (de 200μm à 1,5cm) et présenter impérativement 3 types de nettoyages listés ci-dessous :
- jet haute pression,
- brossage,
- nettoyage mégasonique
Cet équipement sera installé en salle blanche sur la plateforme silicium du CEA-Léti où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-01-29.
L'appel d'offres a été publié le 2012-12-13.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-12-13
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Avis de marché
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