Fourniture, installation et mise en fonctionnement d'un équipement de dépôt de couches minces par évaporation au moyen d'un canon à électrons avec assistance ionique et mesure par réflectométrie optique
L'équipement doit permettre la réalisation de couches minces diélectriques, utilisés principalement dans la réalisation de filtres optiques (UV-visible-infrarouge).
Il doit posséder un système de porte-échantillons permettant de corriger les problèmes d'homogénéité de dépôt par une rotation sur son axe propre.
Il doit posséder un réflectomètre permettant des mesures de type réflectrométrie ou spectrophotométrie avec une source optique la plus large possible couvrant obligatoirement la gamme 400 nm-2 000 nm.
L'intégralité du système doit être pilotable via un logiciel d'inteface permettant la gestion de l'équipement (pompage, vannes, transferts, ...) et des procédés (vitesse de dépôt, réflectométrie) à partir d'un seul et même ordinateur.
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Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-05-11.
L'appel d'offres a été publié le 2012-03-15.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Où ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-03-15
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Avis de marché
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| 2012-08-21
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Avis d'attribution de marché
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