Fourniture, installation et mise en fonctionnement d'un équipement d'épitaxie par jets moléculaires dédié à la croissance sous ultra-vide de nitrures semi-conducteurs (III-N) et supra conducteurs (NBN)

Centre national de la recherche scientifique

Le bâti d’épitaxie par jets moléculaires sera dédié à des activités de recherche sur la croissance de nitrures semi-conducteurs d’éléments III et de nitrures supraconducteurs de type NBN. Il doit être constitué d’une chambre à vide pour la croissance cristalline et d’au moins une chambre à vide supplémentaire pour l’introduction des échantillons depuis l’atmosphère. Les chambres doivent être isolées entre elles de façon étanche et chacune doit être munie de son propre système de pompage. Les échantillons doivent pouvoir être transférés de l’une à l’autre. Le pompage de la chambre de croissance doit être assuré par une pompe cryogénique à hélium liquide et des panneaux cryogéniques à azote liquide.
La chambre de croissance doit pouvoir recevoir au moins 6 sources de matériaux différentes. Elle doit être notamment équipée de cellules d’évaporation pour le gallium, l’aluminium, l’indium, le silicium et le magnésium. Un autre emplacement de cellule doit être prévu pour recevoir une source à plasma d’azote. L’une des cellules d’évaporation sus mentionnée doit pouvoir être remplacée par une cellule pour l’évaporation du niobium ou bien un septième emplacement sera prévu pour son installation. Chaque cellule de matériaux sera équipée d’un cache individuel à actionnement rapide (< 0,2 s).
La chambre de croissance disposera des ports, hublots et caches nécessaires à la visualisation des transferts d’échantillons, à la diffraction RHEED pendant croissance des échantillons et à la lecture optique de la température du substrat.
La chambre de croissance doit être équipée d’un four pouvant chauffer uniformément jusqu’à 800 °C des échantillons dont la taille représentera un quart d’une plaque de 2 pouces de diamètre ou moins.
Compte tenu de la forte consommation de gallium prévue, la chambre de croissance sera conçue pour éviter que du gallium liquide ne pollue les autres sources de matériau ou ne s’accumule sur des zones critiques de l’équipement telles que des amenées de courant électrique ou des hublots.
Compte-tenu de la surface des locaux dédiés à l’accueil de cet équipement, il est souhaitable que la surface au sol du bâti soit d'environ 2 m² (sans tenir compte des baies de commande).

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2012-03-29. L'appel d'offres a été publié le 2012-02-03.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• RIBER SA

Qui ?

• Centre national de la recherche scientifique

Qu'est-ce que c'est ?

• Matériel électrique › Machines et appareils à usage spécifique

Où ?

• Ile-de-France › Essonne

Historique des marchés publics

Date	Document
2012-02-03	Avis de marché
2012-08-21	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2012-02-03)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils à usage spécifique
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils à usage spécifique 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: Centre national de la recherche scientifique
Adresse postale: délégation Ile de France Ouest et Nord, 1 place Aristide Briand
Code postal: 92195
Commune postale: Meudon Cedex
Contact
Adresse Internet: http://www.cnrs.fr 🌏
Courrier électronique: marches@dr5.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 145075374 📞
Fax: +33 145075899 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2012-02-03 📅
Date limite de soumission: 2012-03-29 📅
Date de publication: 2012-02-08 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2012/S 26-042138
Numéro JO-S: 26
Informations complémentaires

Les candidats sont informés que la personne responsable du marché préfère une remise des candidatures et des offres sous forme matérialisée, c’est-à-dire sur support papier. Le dossier de consultation sera adressé par voie postale, à tout candidat qui en fera une demande écrite: Par courriel à l'adresse: marches@dr5.cnrs.fr. Par télécopie au n°: +33 145075899. Par courrier à l'adresse: CNRS - délégation Ile-de-France Ouest et Nord. Service financier et comptable. Cellule des marchés et de la politique d'achat. Appel d'offres n° 12/01, fourniture d'un équipement d'épitaxie, LPN-UPR020. 1 place Aristide Briand - 92195 Meudon Cedex, FRANCE. Le dossier de consultation peut également être retiré par le candidat à la même adresse, pendant les heures d'ouverture du service du lundi au vendredi, hors jours fériés, de 9:00 à 12:00 et de 14:00 à 17:00. Par voie dématérialisée le candidat peut retirer gratuitement le DCE (documents de consultation des entreprises) à l'adresse suivante: https://www.achats-epst.fr/. Le téléchargement du DCE ne nécessite pas d'inscription préalable sur la plateforme de dématérialisation. Toutefois, il est fortement conseillé au candidat de s'inscrire sur la plateforme en indiquant une adresse électronique valide afin d'être informés automatiquement d'une quelconque modification du DCE. En aucun cas, le CNRS ne saurait être tenu responsable du manque d'information du candidat par défaut d'inscription.

Informations complémentaires

Les candidats sont informés que la personne responsable du marché préfère une remise des candidatures et des offres sous forme matérialisée, c’est-à-dire sur support papier.

Le dossier de consultation sera adressé par voie postale, à tout candidat qui en fera une demande écrite:

Par courriel à l'adresse: marches@dr5.cnrs.fr.

Par télécopie au n°: +33 145075899.

Par courrier à l'adresse:

CNRS - délégation Ile-de-France Ouest et Nord.

Service financier et comptable.

Cellule des marchés et de la politique d'achat.

Appel d'offres n° 12/01, fourniture d'un équipement d'épitaxie, LPN-UPR020.

1 place Aristide Briand - 92195 Meudon Cedex, FRANCE.

Le dossier de consultation peut également être retiré par le candidat à la même adresse, pendant les heures d'ouverture du service du lundi au vendredi, hors jours fériés, de 9:00 à 12:00 et de 14:00 à 17:00.

Par voie dématérialisée le candidat peut retirer gratuitement le DCE (documents de consultation des entreprises) à l'adresse suivante: https://www.achats-epst.fr/. Le téléchargement du DCE ne nécessite pas d'inscription préalable sur la plateforme de dématérialisation.

Toutefois, il est fortement conseillé au candidat de s'inscrire sur la plateforme en indiquant une adresse électronique valide afin d'être informés automatiquement d'une quelconque modification du DCE. En aucun cas, le CNRS ne saurait être tenu responsable du manque d'information du candidat par défaut d'inscription.

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:

La chambre de croissance doit pouvoir recevoir au moins 6 sources de matériaux différentes. Elle doit être notamment équipée de cellules d’évaporation pour le gallium, l’aluminium, l’indium, le silicium et le magnésium. Un autre emplacement de cellule doit être prévu pour recevoir une source à plasma d’azote. L’une des cellules d’évaporation sus mentionnée doit pouvoir être remplacée par une cellule pour l’évaporation du niobium ou bien un septième emplacement sera prévu pour son installation. Chaque cellule de matériaux sera équipée d’un cache individuel à actionnement rapide (< 0,2 s).

La chambre de croissance disposera des ports, hublots et caches nécessaires à la visualisation des transferts d’échantillons, à la diffraction RHEED pendant croissance des échantillons et à la lecture optique de la température du substrat.

La chambre de croissance doit être équipée d’un four pouvant chauffer uniformément jusqu’à 800 °C des échantillons dont la taille représentera un quart d’une plaque de 2 pouces de diamètre ou moins.

Compte tenu de la forte consommation de gallium prévue, la chambre de croissance sera conçue pour éviter que du gallium liquide ne pollue les autres sources de matériau ou ne s’accumule sur des zones critiques de l’équipement telles que des amenées de courant électrique ou des hublots.

Compte-tenu de la surface des locaux dédiés à l’accueil de cet équipement, il est souhaitable que la surface au sol du bâti soit d'environ 2 m² (sans tenir compte des baies de commande).

Description des options:

8 options obligatoires sont prévues par le marché.

Pour chaque option obligatoire, le candidat doit formuler impérativement une offre technique et financière, indépendamment de la solution de base. Le montant de chacune des offres sera reporté dans l’acte d’engagement, à la rubrique prévue à cet effet.

L’absence de proposition pour l’une de ces options obligatoires entraînera le rejet de l’offre.

— Option obligatoire n° 1: fourniture d'un système de pompage équipant la chambre d’introduction-transfert,

— Options obligatoires pour la chambre de croissance:

—— Option obligatoire n° 2: fourniture d'une source d’azote à plasma radio-fréquence équipée d’un cache indépendant ou solidaire de la source,

—— Option obligatoire n° 3: fourniture d'une source pour matériau réfractaire, le niobium (NB), équipée d’un cache indépendant ou solidaire de la source,

—— Option obligatoire n° 4: fourniture d'une cellule à effusion de gallium équipée d’un creuset en graphite sera proposée en remplacement de la cellule à effusion de gallium équipée d’un creuset PBN,

—— Option obligatoire n° 5: fourniture d'un four permettant d’atteindre une température de substrat de 1000 °C sera proposé en remplacement du four standard,

—— Option obligatoire n° 6: fourniture d'un système de contrôle in-situ par diffraction d’électrons de haute énergie en incidence rasante (RHEED) de la croissance (canon et écran),

— Option obligatoire pour l’équipement:

—— Option obligatoire n° 7: fourniture d'une unité de pilotage de la machine MBE. Hardware et software nécessaires au pilotage de la croissance avec adressage des régulateurs, du contrôleur des caches et des diverses entrées-sorties analogiques et digitales,

— Options obligatoires pour la garantie:

—— Option obligatoire n° 8: une extension de garantie devra être proposée par le prestataire, en option, qui prendrait la suite de la garantie normale initiale incluse dans le prix du marché. Les conditions de l'extension de garantie doivent porter sur les pièces, la main d’œuvre et le déplacement des personnels qualifiés sur site. Une offre sera proposée séparément pour:

a) une extension de garantie d’une durée de 1 an après la garantie initiale;

b) une extension de garantie d’une durée de 2 ans après la garantie initiale;

c) une extension de garantie d’une durée de 3 ans après la garantie initiale.

10 options facultatives sont prévues par le marché.

Pour chaque option facultative, le candidat pourrait formuler, s'il le souhaite, une offre technique et financière distincte, indépendamment de la solution de base. Son montant sera reporté dans l’acte d’engagement, à la rubrique prévue à cet effet,

— Option(s) facultative(s) pour la chambre d’introduction-transfert:

—— Option facultative n° 1: fourniture d'un spectromètre de masse,

—— Option facultative n° 2: fourniture d'une position chauffante pour permettre le dégazage des échantillons à environ 200-300°C,

— Option(s) facultative(s) pour la chambre de croissance:

—— Option facultative n° 3: fourniture d'un cache général permettant d’isoler le substrat des sources de matériaux,

—— Option facultative n° 4: fourniture d'une cellule à effusion haute température pour permettre l’épitaxie de couches de silicium,

—— Option facultative n° 5: fourniture d'un pyromètre,

—— Option facultative n° 6: fourniture d'une caméra permettant de déporter les figures de diffraction RHEED sur un écran,

—— Option facultative n° 7: fourniture d' un programme permettant de traiter les données du RHEED,

—— Option facultative n° 8: fourniture d'un sublimateur de Titane positionné proche du panneau froid,

— Option(s) facultative(s) pour l’équipement:

—— Option facultative n° 9: fourniture d'un panneau de gaz permettant l’alimentation en azote de la source RF plasma d’azote,

—— Option facultative n° 10: fourniture d'une chambre d’introduction-transfert composée de deux modules: un module d’introduction et la chambre de transfert.

Durée de l'accord: 10 mois
Numéro de référence: Appel d'offres n°12-01 CNRS/LPN
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CNRS/LPN, route de Nozay, 91460 Marcoussis, FRANCE.

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:

Le candidat doit fournir les documents suivants:

— Une lettre de candidature (imprimé DC1*) dûment complétée et signée, ou déclaration d’intention de soumissionner du candidat individuel ou de groupement.

Si le candidat se présente seul, doit préciser le nom ou dénomination, adresse du siège ou du siège social, téléphone, télécopie, courriel, le nom ou dénomination et adresse du service qui exécutera la prestation, téléphone, télécopie, courriel.

Si le candidat se présente en groupement d’entreprise, doit préciser le caractère du groupement, le nom ou dénomination, adresse du mandataire, téléphone, télécopie, courriel; le nom ou dénomination et adresse du service qui exécutera la prestation, téléphone, télécopie, courriel,

— Tout document relatif au pouvoir de(s) la personne(s) habilitée à engager le candidat individuel ou le groupement doit être joint à la déclaration,

— Une attestation sur l'honneur, datée et signée, pour justifier qu'il n'entre dans aucun des cas mentionnés à l'article 8 de l'ordonnance n° 2005-649 du 6.6.2005.

Par mesure de simplification, les attestations sur l’honneur à fournir par le candidat sont reprises dans l’imprimé DC1. Ce document dûment rempli et signé par le candidat, dispense de la fourniture de l’attestation sur l’honneur susvisée,

— La copie du ou des jugements prononcés, si le candidat est en redressement judiciaire (imprimé DC2*).

(*) Imprimés DC sont disponibles sur le portail du ministère de l'Économie, des finances et de l'emploi: http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires.

Situation économique et financière:

Le candidat doit fournir les documents suivants:

— Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement (imprimé DC2*) ou équivalent.

Si le candidat s'appuie sur d'autres opérateurs économiques pour présenter sa candidature: production pour chacun de ces opérateurs des mêmes documents qui sont exigés du candidat pour justifier de ses capacités professionnelles, techniques et financières,

— Une déclaration concernant le chiffre d'affaires global hors taxes (HT) et le chiffre d'affaires hors taxes (HT) concernant les prestations objet du présent marché réalisés au cours des 3 derniers exercices disponibles.

Capacité technique et professionnelle:

Le candidat doit fournir les documents suivants:

— Une liste de références sur les trois dernières années auprès d'organismes publics ou privés, comportant les noms des personnes à contacter, les adresses et les numéros de téléphone, pour la fourniture des prestations similaires, objet de la consultation,

— Renseignements relatifs aux moyens humains et techniques de l’entreprise:

—— Une déclaration indiquant les effectifs moyens annuels du candidat et l'importance du personnel d'encadrement, pour chacune des 3 dernières années,

—— Une déclaration indiquant l'outillage, le matériel et l'équipement technique dont le candidat dispose pour la réalisation de marchés de même nature,

—— Une déclaration indiquant des titres d'études et professionnels de l'opérateur économique et/ou des cadres de l'entreprise, et notamment des responsables de prestation de même nature que celle du marché,

— Certificat(s) de qualité ou de capacité délivré(s) par des organismes indépendants ou moyens de preuve équivalents, notamment, certificats de qualifications professionnelles ou de conformité à des spécifications techniques.

Exécution du marché
Dépôts et garanties exigés: Néant.
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:

Le financement du marché est assuré par les ressources budgétaires du laboratoire bénéficiaire des prestations.

Le marché prévoit une avance et des acomptes dont les modalités de paiement sont énoncées dans le règlement de consultation.

Le règlement du marché sera effectué par virement administratif dans un délai de 45 jours à compter de la date de réception des factures.

Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:

Les groupements d’opérateurs économiques sont autorisés à se porter candidat. Pour la présentation de l'offre, le passage d'un groupement d'une forme à une autre n'est pas exigé. Toutefois, les candidats sont informés que le groupement attributaire du marché sera contraint d'assurer sa transformation en groupement solidaire.

La composition du groupement ne peut être modifiée entre la date de remise de la candidature et la date de la signature du marché.

Procédure
Période de validité de l'offre: 120 jours
Critères d'attribution
Critère: 1. Valeur technique de l'offre: note sur 40, coefficient 0,45 (45)
2. Prix de l'équipement: note sur 40, coefficient 0,25 (25)
3. Qualité technique et prix des options: note sur 40, coefficient 0,20 (20)
4. Délai exécution du marché/qualité de service après-vente: note sur 40, coefficient 0,10 (10)
Langues
Langue: français 🗣️
Autres langues: Tous les documents contractuels doivent être rédigés en français. Les autres documents relatifs à la proposition technique du candidat, constituant, accompagnant, ou cités à l'appui de la réponse présentée par le candidat sont rédigés soit en français soit en anglais.

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: service financier - bureau des marchés
M. Ara Delioglu
Adresse du profil d'acheteur: http://www.dr5.cnrs.fr 🌏
Nom: CNRS Laboratoire de photonique et de nanostructures
Adresse postale: route de Nozay
Commune postale: Marcoussis
Code postal: 91460
Point de contact: renseignement d’ordre technique pour l'appel d'offres relatif à l'acquisition d'un équipement d'épitaxie
Noëlle Gogneau
Téléphone: +33 169636175 📞
Courrier électronique: noelle.gogneau@lpn.cnrs.fr 📧
Fax: +33 169636006 📠
Courrier électronique: greffe.ta-cergy-pontoise@juradm.fr 📧
URL des documents: https://www.achats-epst.fr 🌏

Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: Appel d'offres n°12-01 CNRS/LPN
Informations complémentaires

Les candidats sont informés que la personne responsable du marché préfère une remise des candidatures et des offres sous forme matérialisée, c’est-à-dire sur support papier.

Le dossier de consultation sera adressé par voie postale, à tout candidat qui en fera une demande écrite:

Par courriel à l'adresse: marches@dr5.cnrs.fr.

Par télécopie au n°: +33 145075899.

Par courrier à l'adresse:

CNRS - délégation Ile-de-France Ouest et Nord.

Service financier et comptable.

Cellule des marchés et de la politique d'achat.

Appel d'offres n° 12/01, fourniture d'un équipement d'épitaxie, LPN-UPR020.

1 place Aristide Briand - 92195 Meudon Cedex, FRANCE.

Le dossier de consultation peut également être retiré par le candidat à la même adresse, pendant les heures d'ouverture du service du lundi au vendredi, hors jours fériés, de 9:00 à 12:00 et de 14:00 à 17:00.

Par voie dématérialisée le candidat peut retirer gratuitement le DCE (documents de consultation des entreprises) à l'adresse suivante: https://www.achats-epst.fr/. Le téléchargement du DCE ne nécessite pas d'inscription préalable sur la plateforme de dématérialisation.

Toutefois, il est fortement conseillé au candidat de s'inscrire sur la plateforme en indiquant une adresse électronique valide afin d'être informés automatiquement d'une quelconque modification du DCE. En aucun cas, le CNRS ne saurait être tenu responsable du manque d'information du candidat par défaut d'inscription.

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Cergy Pontoise
Adresse postale: 2-4 boulevard de l'Hautil, BP 30322
Commune postale: Cergy Pontoise
Code postal: 95027
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-cergy-pontoise@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 130173400 📞
Adresse Internet: http://cergy-pontoise.tribunal-administratif.fr 🌏
Fax: +33 130173459 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2012/S 026-042138 (2012-02-03)

Avis d'attribution de marché (2012-08-21)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 416 900,00 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Identité
Adresse postale: Délégation Île-de-France Ouest et Nord, 1 place Aristide Briand

Référence
Dates
Date d'envoi: 2012-08-21 📅
Date de publication: 2012-08-23 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2012/S 161-267939
Se réfère à l'avis: 2012/S 26-042138
Numéro JO-S: 161

Objet
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CNRS/LPN,route de Nozay, 91460 Marcoussis, FRANCE.

Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Valeur technique de l’offre (45)
2. Prix (25)
3. Délai d’exécution du marché/qualité du service après-vente (10)
4. Qualité technique et prix des options (20)

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2012-06-21 📅
Nom: Riber sa
Adresse postale: 31 rue Casimir Périer
Commune postale: Bezons
Code postal: 95870
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: info@riber.com 📧
Adresse Internet: www.riber.com 🌏
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 3

Pouvoir adjudicateur
Contact
URL des documents: http://www.achats-epst.fr 🌏
Source: OJS 2012/S 161-267939 (2012-08-21)

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