Fourniture d’un équipement dédié à la réalisation de couches minces métalliques
Dans le cadre de ses recherches le département des technologies des nanomatériaux souhaite se doter d’un équipement dédié à la réalisation de couches minces métalliques déposées par évaporation, plus précisément du calcium (CA), sur des substrats wafer de 200 MM. L’équipement sera composé d’une chambre procédé sous vide pour l’évaporation, d’un sas de chargement avec cassette et d’une chambre de transfert avec robot. Le système d’évaporation est constitué d’une source thermique pour creuset et le contrôle des dépôts est assuré par une microbalance à quartz. Une boîte à gants avec système de purification doit être associé à l’équipement afin de garantir un travail dans une atmosphère inerte contrôlée puisque les substrats et le métal évaporé sont sensibles à l’air. L’équipement est fourni avec un logiciel/automate permettant le contrôle des procédés, la programmation de recettes, le suivi du statut de l’équipement et l’enregistrement de données des procédés.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-03-22.
L'appel d'offres a été publié le 2012-02-21.
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-02-21
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Avis de marché
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