Fourniture d’un équipement automatique de dépôt de matériaux III-V par MOCVD
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement entièrement automatique de dépôt de matériaux III-V par MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition).
Cet équipement devra pouvoir réaliser les dépôts par épitaxie sur des substrats de 200 millimètres de diamètre.
Il sera installé dans les salles blanches du CEA-LETI et pourra être utilisé 7 jours sur 7 - 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-05-10.
L'appel d'offres a été publié le 2012-03-30.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-03-30
|
Avis de marché
|