Four de dégazage à géométrie horizontale. Date de livraison souhaitée: 4 mois à compter de la signature du marché
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un four de dégazage à géométrie horizontale pour le nettoyage de pièces en SiC recouvertes de graphite dits « suscepteurs ».
Ces suscepteurs sont utilisés par le CEA pour le support de substrats qui subissent des procédés de croissance de GaN dans un bâti de MOCVD.
Cet équipement doit présenter les caractéristiques suivantes:
— température de travail de 1350 °C, sous vide primaire 1mTorr sous flux de gaz (forming gaz ou autre),
— possibilité de recuit simultané de quinze (15) suscepteurs par jour dont les dimensions sont diamètre: 465 millimètres, épaisseur 30 millimètres, masse environ: 12 kilogrammes,
— durée de la descente en température inférieure à huit (8) heures.
Il devra être compatible en termes de contamination particulaire avec les normes en vigueur dans l’industrie du semi-conducteur.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-01-14.
L'appel d'offres a été publié le 2012-11-27.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-11-27
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Avis de marché
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| 2013-02-22
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Informations complémentaires
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| 2013-09-09
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Avis d'attribution de marché
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