Equipement de photoluminescence cartographique
Le Département Optique et Photonique du CEA Grenoble souhaite faire l'acquisition d'un équipement de photoluminescence cartographique pour le suivi des lots et la caractérisation de wafers de silicium de diamètres 2 pouces à 20 0mm, mais également de substrats transparents. L'équipement doit également permettre la mesure d'épaisseur de couches minces, la mesure du bow (ou flèche). L'équipement sera installé et exploité en salle blanche de classe 1 000 pour des applications en microélectronique avancée.
L'équipement devra coupler les techniques de réflectométrie.
Il présentera en outre les caractéristiques suivantes:
— Mesure de photoluminescence à température ambiante entre 350 nm et 800 nm, préférentiellement entre 280 nm et 1 100 nm,
— Dispositif de chargement/ déchargement automatique de plaquettes de 2 pouces à 200 mm,
— Prise en charge de 2 paniers de 25 wafers,
— Logiciel de contrôle-commande développé sous Windows XP ou Windows 7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-10-03.
L'appel d'offres a été publié le 2012-08-24.
Qui ?
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2012-08-24
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Avis de marché
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