Equipement de fonctionnalisation par CO2 Supercritique
Dans le cadre du programme RTB, le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de fonctionnalisation de surface en phase CO super-critique. Cet équipement doit permettre de fonctionnaliser par des composés de type silane des plaques de silicium de 200 millimètres de diamètre ainsi que des composants MEMS de quelques millimètres carrés. L'équipement doit également permettre de sécher des wafers par contournement du point critique du CO.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-03-05.
L'appel d'offres a été publié le 2012-01-23.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2012-01-23
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Avis de marché
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| 2012-03-15
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Informations complémentaires
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