Équipement de dépôt de matériaux TCO
Le CEA-Léti souhaite acheter un équipement de dépôt de matériaux TCO (oxyde transparent conducteur) pour ses activités de recherche et développement sur les nanoLEDs (NW-LEDS). Ces dépôts seront réalisés sur des nanofils et devront de ce fait présenter un excellent taux de couverture de marche. Les techniques de dépôts par ALD et/ou CVD sont privilégiées.
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium ou de verre de 200 mm de diamètre présentant des épaisseurs de 500μm à quelques millimètres.
Cet équipement sera installé en salle blanche sur la plateforme silicium du CEA-Léti où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-10-01.
L'appel d'offres a été publié le 2012-08-09.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2012-08-09
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Avis de marché
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| 2012-09-27
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Informations complémentaires
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