Equipement d'étalement et de développement de résines pour des substrats de 300mm de diamètre. Date de livraison souhaitée: quatrième trimestre 2012

CEA/Grenoble

Pour la réalisation de ses programmes CMOS avancés, le CEA/LETI souhaite s’équiper d’un nouvel équipement d’étalement de résines et de développement. L’équipement devra être interfacé avec l’outil multi-beam MATRIX 1.1 de la société MAPPER et être opérationnel dès le 4 trimestre 2012.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-05-30. L'appel d'offres a été publié le 2012-04-18.

Qui ?

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Historique des marchés publics
Date Document
2012-04-18 Avis de marché
2012-05-11 Informations complémentaires