Ellipsomètre spectroscopique infrarouge. Date de livraison souhaitée: au plus tard novembre 2012
Le CEA-LETI souhaite, dans le cadre de la plate-forme de nano caractérisation, faire l’acquisition d’un ellipsomètre infrarouge équipé d’une cellule chauffante et d’une cellule ATR amovibles.
Cet équipement devra permettre des mesures ellipsomètriques reproductibles, précises et fiables sur des couches ou des empilements de technologies avancées, déposés sur des substrats transparents ou non.
Du fait de sa large gamme d’applications envisagées, l’équipement devra répondre aux spécifications suivantes:
— compatibilité avec des substrats silicium de 200 mm de diamètre (sans cellules),
— une gamme spectrale minimum de 1,7 μm à 35 μm sans cellules, avec possibilité d’étendue jusqu’à 40 μm si l’échantillon est suffisamment réfléchissant,
— un pilotage par PC de l’angle d’incidence de 26° à 90° (sans cellules),
— des mesures précises de la phase Δ à des angles proches de 0° et de 180°,
— le logiciel de traitement des mesures expérimentales infrarouges devra permettre le raccordement à d’autres mesures ellipsométriques (Psi & Delta vs angles d’incidence et longueurs d’onde) provenant d’autres équipements.
Par exemple des mesures en UV/visible/proche IR seront combinées avec les mesures infrarouges de cet ellipsomètre.
— la cellule chauffante amovible sera régulée par un PC de -80°C à 600°C.
Elle devra être compatible avec d’autres équipements.
Différents jeux de fenêtres seront fournis pour autoriser des mesures de l’utra-violet (190 nm) à l’infra-rouge (20 μm).
— la cellule ATR amovible permettra la mesure des propriétés optiques infrarouge des liquides.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-03-19.
L'appel d'offres a été publié le 2012-02-06.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2012-02-06
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Avis de marché
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