Piste de développement aqueux pour deux résines pour Wafers silicium 200 mm

CEA/Grenoble

Le CEA souhaite s'équiper d'une piste de développement aqueux pour au moins 2 résines sur Wafer silicium 200 mm. L'équipement comprendra des plaques chauffantes et des stations de refroidissements.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-05-23. L'appel d'offres a été publié le 2011-04-22.

Qui ?

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Historique des marchés publics
Date Document
2011-04-22 Avis de marché