Piste de dépôt de 2 passivations pour wafer silicium 200 mm
Dans le cadre de ses activités de recherche le LITEN-DTNM souhaite s’équiper d’une piste de dépôt de 2 passivations pour wafer silicium 200 mm avec des pompes de dispense pour deux passivations, pour les détourages, et pour les nettoyages de face arrière et des plaques chauffantes jusqu’à 250 deg C. De plus, l’équipement devra inclure des stations de refroidissement.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-05-27.
L'appel d'offres a été publié le 2011-04-26.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2011-04-26
|
Avis de marché
|