Fourniture installation et mise en service d’un équipement de dépôt de nitrures par MOCVD
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement entièrement automatique de dépôt de nitrures de matériaux III-V par MOCVD (metal organic chemical vapor deposition).
Cet équipement pourra réaliser les dépôts par épitaxie sur des substrats de plusieurs diamètres; 50,8 mm, 100 mm, 150 mm....
Il sera installé en salle blanche (le lieu exact sera précisé ultérieurement) et sera utilisé 7 jours sur 7 - 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-07-25.
L'appel d'offres a été publié le 2011-06-15.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2011-06-15
|
Avis de marché
|