Fourniture d'une étuve pour wafer 200 mm silicium

CEA/Grenoble

Le CEA souhaite s'équiper d'une étuve pour wafer 200 mm silicium avec contrôle concentration en oxygène dans l'azote. Régulation en température de 100 deg C à 450 deg C.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-05-23. L'appel d'offres a été publié le 2011-04-22.

Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Historique des marchés publics
Date Document
2011-04-22 Avis de marché