Fourniture d’un équipement permettant le collage covalent pour substrats de 200 et 300 millimètres de diamètre
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de collage direct de plaquettes avec activation ionique ou atomique des surfaces. Cet équipement doit permettre le collage covalent direct de substrat à température ambiante après alignement à quelques micromètres des substrats.
L’équipement devra être entièrement automatique, cassette/cassette, et capable de traiter des plaques de 200 millimètres et 300 millimètres de diamètre. Il sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-10-26.
L'appel d'offres a été publié le 2011-09-26.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2011-09-26
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Avis de marché
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| 2011-10-13
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Informations complémentaires
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