Fourniture d'un équipement de dépôt par pulvérisation
Le CEA LETI souhaite faire l'acquisition d'une machine single-wafer 300 mm entièrement automatique, permettant d'effectuer la préparation de surface puis le dépôt de métal par pulvérisation pour ses développements microélectronique de procédés MOS.
Cet équipement doit permettre en particulier la réalisation des briques siliciurations et contacts des dispositifs MOS avancés.
L'équipement devra disposer de plusieurs réacteurs de préparation de surface et de dépôt. Il sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-07-25.
L'appel d'offres a été publié le 2011-06-15.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2011-06-15
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Avis de marché
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| 2011-11-09
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Avis d'attribution de marché
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