Fourniture d’un équipement de dépôt par MOCVD
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement entièrement automatique de dépôt de matériaux III-V par MOCVD (Metal organic chemical vapor deposition).
Cet équipement pourra réaliser les dépôts par épitaxie sur des substrats de plusieurs diamètres: 50,8 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm.
Il pourra être installé en salle blanche (le lieu exact sera précisé ultérieurement) et pourra être utilisé 7 jours sur 7 - 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-10-27.
L'appel d'offres a été publié le 2011-09-15.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-09-15
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Avis de marché
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| 2012-09-14
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Informations complémentaires
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