Fourniture d’un équipement de dépôt de LiPON par pulvérisation réactive RF 13.56 MHz
Le CEA souhaite s’équiper d’un équipement de dépôt de LiPON par pulvérisation réactive RF 13.56 MHz comportant plusieurs cibles dans l’enceinte de dépôt dans le but d’avoir la productivité la plus élevée possible. Les cibles seront du Li3PO4. En plus de la qualité des films déposés, la productivité de la machine sera un facteur très déterminant. Chaque cible individuelle aura une taille supérieure ou égale à 50 cm. Les films feront plusieurs microns d’épaisseur. Les substrats de quelques cm de côtés seront installés sur des supports adaptés. L’équipement inclura un sas pour maintenir le réacteur sous vide pendant le chargement et le déchargement des substrats.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-06-14.
L'appel d'offres a été publié le 2011-05-10.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-05-10
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Avis de marché
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