Fourniture d'un équipement de dépôt de couches métalliques par Ion Beam Sputtering 200mm (IBS)
Le CEA LETI souhaite faire l'acquisition d'une machine entièrement automatique, cassette sur cassette, permettant d'effectuer le dépôt de couches minces métalliques par Ion Beam Sputtering sur des plaques de 200 mm de diamètre (traitement plaque à plaque). L'équipement doit permettre la préparation des plaques in situ avant le dépôt.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA LETI et sera utilisé en continuité 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-08-19.
L'appel d'offres a été publié le 2011-07-08.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-07-08
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Avis de marché
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| 2011-09-14
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Informations complémentaires
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