Équipement de dépôt PVD pour la réalisation de l'empilement des couches actives de micro batteries sur substrat Si 200 mm
Le CEA souhaite s'équiper d'un ensemble de chambres de dépôt PVD pour réalisations de l'empilement des couches actives de micro batteries sur substrat Si 200 mm. Cet ensemble de chambres devra permettre l'obtention de couches servant à la collection du courant (métal) ainsi que les matériaux d'électrodes et électrolyte des batteries. L'ensemble des chambres devront être connectées à une boîte à gants sous argon. Un dispositif devra permettre la réalisation de motifs pour chacune des couches (technologie type pochoir). Des références quantitatives sont demandées sur des équipements similaires aussi bien sur les technologies de dépôts des couches actives que sur les méthodes d'obtention des motifs.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-03-07.
L'appel d'offres a été publié le 2011-02-02.
Qui ?
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-02-02
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Avis de marché
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