Équipement de dépôt PVD pour la réalisation de couches métalliques
Le CEA souhaite s'équiper d'un ensemble de chambres de dépôt PVD pour réalisations de couches métalliques utilisées dans un procédé de fabrication de micro batteries sur substrat SI 200 mm.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-03-07.
L'appel d'offres a été publié le 2011-02-02.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-02-02
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Avis de marché
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