Équipement de dépôt PECVD pour la réalisation de couches diélectriques
Le CEA souhaite s'équiper d'un ensemble de chambres de dépôt PECVD pour réalisations de couches diélectriques utilisées dans un procédé de fabrication de micro batteries sur substrat SI 200 mm.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-03-07.
L'appel d'offres a été publié le 2011-02-02.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-02-02
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Avis de marché
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