Equipement de dépôt de LiCoO2 par pulvérisation réactive 40 KHz
Le CEA souhaite acheter un équipement de dépôt de LiCoO2 par pulvérisation réactive 40 KHz comportant plusieurs cibles dans l'enceinte de dépôt dans le but d'avoir la productivité la plus élevée possible. Deux fonctions seront exigées:
— une électrode positive d'une batterie couche mince de plusieurs microns d'épaisseur,
— une couche d'adhérence d'une épaisseur de quelques centaines de nanomètres. En plus du respect des spécificités des films déposés, la productivité de la machine sera un facteur très déterminant. Chaque cible aura une taille supérieure ou égale à 50 cm. Les substrats de quelques cm de côtés seront installés sur des supports adaptés.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-09-13.
L'appel d'offres a été publié le 2011-08-12.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2011-08-12
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Avis de marché
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