Equipement de dépôt de LiCoO2 par pulvérisation réactive 40 KHZ
Le CEA souhaite acheter un équipement de dépôt de LiCoO2 par pulvérisation réactive 40 KHz comportant plusieurs cibles dans l'enceinte de dépôt dans le but d'avoir la productivité la plus élevée possible. En plus de la qualité des films déposés, la productivité de la machine sera un facteur très déterminant. Chaque cible individuelle aura une taille supérieure ou égale à 50 cm. Les films feront plusieurs microns d épaisseur. Les substrats de quelques cm de côtés seront installés sur des supports adaptés.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-06-07.
L'appel d'offres a été publié le 2011-05-06.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-05-06
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Avis de marché
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| 2011-08-12
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Informations complémentaires
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