Équipement de debonding automatique. Date de livraison souhaitée: 1er semestre 2012
Le CEA LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de séparation et nettoyage de plaquettes assemblées temporairement à l'aide d'une colle spécifique (thermoplastique ou tape).
Cet équipement doit permettre la séparation de scellements temporaires de type ZoneBOND (traitement spécifique préalable de la poignée de scellement). En sortie d'équipement, les plaquettes amincies nettoyées devront être présentées sur un tape compatible avec les procédés de découpe.
L'équipement devra être entièrement automatique, cassette/cassette et capable de traiter des plaquettes 200 et de 300 millimètres de diamètre.
Il sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-02-06.
L'appel d'offres a été publié le 2011-12-21.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-12-21
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Avis de marché
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