Equipement d’étalement et de développement de résines photosensibles
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement pour l’étalement et le développement de résines photosensibles pour procédés de lithographie i-line 3D et procédés avancés d’auto assemblage.
L’équipement devra être entièrement automatique, cassette/cassette et capable de traiter des plaquettes de 300 millimetres de diamètre.
Il sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2012-02-06.
L'appel d'offres a été publié le 2011-12-21.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-12-21
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Avis de marché
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| 2012-01-26
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Informations complémentaires
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