Ensemble de chambres de gravure RIE
Le CEA souhaite s’équiper d’un ensemble de chambres de gravure RIE utilisées dans un procédé de fabrication de micro batteries sur substrats SI 200 mm. Les couches gravées seront de différents types: métal diélectrique, matériaux lithiés.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2011-03-04.
L'appel d'offres a été publié le 2011-02-01.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2011-02-01
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Avis de marché
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