2016-06-28907 16 27 (Université de Limoges)
Fourniture d'un bâti de dépôt sous vide secondaire par évaporation au canon à électron pour des applications de recherche et développement microélectroniques.
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2012-09-17Acquisition d'un système d'évaporation par faisceau d'électron (Délégation Centre Est du CNRS)
Equipement universel pour le dépôt de couches minces métalliques. Les principales caractéristiques de l'équipement sont:
— Evaporation par canon à électrons de couches minces de différents métaux sous vide,
— Système complètement automatisé,
— Temps de pompage courts,
— Bonne thermalisation des échantillons pour éviter la dégradation des résines de lithographie,
— Utilisation d'échantillons variés: de carrés de 10×10 mm² au wafer de 4 pouces.
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