2015-07-08Équipement d'analyse par photoluminescence (CEA/Grenoble)
Le CEA souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'analyse et de cartographie par photoluminescence pour la caractérisation de films de nitrures de matériaux du groupe III sur plaques de silicium et de saphir. L'équipement devra pouvoir traiter de façon automatique des plaques de diamètres 150 et 200 mm.
Il devra également permettre la mesure de la déformation des plaques (bow).
L'équipement sera installé et exploité en salle blanche pour des applications en microélectronique avancée.
Voir la passation de marché » Fournisseurs mentionnés:Nanometrics Inc.