Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Fogale Nanotech est mentionné
2014-08-07Fourniture d'un microscope interférométrique plein champ et infra-rouge 200-300 mm. Date de livraison souhaitée:... (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite s'équiper d'un microscope interférométrique plein champ et infra rouge pour ses activités de recherche en CMP (Polissage mécano-chimique) à l'échelle de la puce et en overlay pour des applications 3D. L'équipement recherché doit pouvoir manipuler en mode manuel des plaques de 200 et 300 millimètres de diamètre. Il doit être capable d'effectuer des mesures de nanotopographie de puces entières, des mesures de hauteur de marche et de rugosité mais aussi d'effectuer des mesures en …
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2014-05-26Fourniture d’un équipement de contrôle de plaques (mesure d’épaisseurs, forme, bombé…). Date de livraison souhaitée:... (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses programmes de recherche conjoints avec la société IPDIA, Le CEA-LETI recherche un équipement de contrôle de plaques: mesure d’épaisseurs, forme, bombé, …… pour différents types de substrats (Silicium, III-V, SiC, InP, GaN, Glass, Polymers, CdTe, Sapphire, Metal) et de multicouches.
Cet équipement devra pouvoir traiter des plaques de 150 mm et 200 mm de diamètre. Il pourra être à chargement manuel mais avec la capacité d’évoluer vers un chargement automatique, ou bien complètement …
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