Fournisseur: Dainippon Screen Deutschland GmbH

2 marchés publics archivés

Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Dainippon Screen Deutschland GmbH est mentionné

2013-03-15   Fourniture d’un équipement de traitements chimiques sur matériaux III-V et de nettoyage back-end 300 mm. Date de... (CEA/Grenoble)
Pour ses activités de recherche sur l’intégration 3D et la Photonique sur Silicium menées dans le cadre de l’Institut de recherche Nanoelec de Grenoble (IRT Nanoelec), le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’une machine singlewafer 300 mm entièrement automatique, permettant d’effectuer des gravures chimiques de matériaux III-V, des préparations de surface sur matériaux III-V, des amincissements de plaques, du retrait de résine photosensible par voie chimique, et de l’élimination de polymères après … Voir la passation de marché »
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2011-05-13   Equipement de stripping résine 300 mm (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’une machine single-wafer 300 mm permettant d’effectuer le retrait de résines photo-sensibles après implantation ionique. Cet équipement doit permettre l’élimination de nickel / platine non-réagi après formation d’un siliciure. Cet équipement doit donc disposer d’une chimie CARO à une température supérieure à 150°C et d’une chimie de nettoyage post-CARO de type SC1. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours / 7 et 24 … Voir la passation de marché »
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