Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur ASM Europe BV est mentionné
2015-03-30Fourniture d'un équipement de dépôt de type ALD («Atomic Layer Deposition») (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses programmes de recherche conjoints avec la société IPDIA, le CEA LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt ALD («Atomic Layer Deposition») de couches et d'empilements de HfO2, Al2O3, TiN, sur plaques silicium de diamètre 150 mm et 200 mm.
Cet équipement devra comporter 1 chambre de type batch pour les dépôts ALD de TiN et une chambre de type batch pour les dépôts ALD de HfO2 et Al2O3 toutes les 2 connectées au même système de transfert des plaques.
L'équipement devra …
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